氣冷羅茨真空泵的工作原理是利用羅茨葉輪的旋轉(zhuǎn)和同步齒輪的傳動，使氣體在泵體內(nèi)產(chǎn)生壓縮和膨脹，從而達到達到排氣的目的。它具有以下幾個步驟：
1、進氣階段
當(dāng)旋轉(zhuǎn)羅茨葉輪時，氣體會隨著葉輪的運動被吸入泵體內(nèi)。當(dāng)進入泵體時，氣體受到旋轉(zhuǎn)羅茨葉輪的擠壓，氣體分子之間的間隔逐漸減少，氣體分子因此相互碰撞產(chǎn)生壓縮。同時，隨著羅茨葉輪的旋轉(zhuǎn)，進氣口從開始的開放狀態(tài)逐漸關(guān)閉，阻止氣體向回流方向運動。
2、壓縮階段
當(dāng)氣體向前推進時，氣壓隨著羅茨葉輪的運動逐漸增加。當(dāng)氣壓達到極限時，排氣閥啟動并將氣體排出泵體。這時，另一個逆向旋轉(zhuǎn)葉輪同樣開始進氣和壓縮，實現(xiàn)了不停歇地氣體壓縮和排放。
3、排氣階段
在進出氣流間的控制和調(diào)節(jié)下，壓縮后的氣體經(jīng)過排氣閥和出口流出氣路。正常情況下，在排氣壓力不高于法蘭標準法蘭壓力等級時，系統(tǒng)可以不用配備額外的防爆裝置。
4、冷卻階段
當(dāng)旋轉(zhuǎn)羅茨葉輪的過程中，由于氣體的壓縮和膨脹的換熱作用，泵體內(nèi)產(chǎn)生大量熱量。故需要對泵體和羅茨葉輪進行冷卻，以保持工作狀態(tài)。冷卻方式有水冶和氣冷兩種，往往采用氣冷的方式，利用自然通風(fēng)或強制風(fēng)冷等方式來實現(xiàn)冷卻。
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